来源 :上证e互动2024-07-24
逸飞激光(688646)半导体领域的工业软件统称为“CIM系统”,是半导体制造的生命级系统,由制造执行系统(MES)、统计过程控制系统(SPC)、设备自动化方案(EAP)、配方管理系统(RMS)、良率管理系统(YMS)等数十种软件系统组成,拥有很高的准入门槛。请问公司控股子公司新聚力科技有半导体CIM软件方面的技术、研发和产品应用吗?谢谢!
尊敬的投资者您好!公司控股子公司新聚力有储备半导体AMHS设备相关技术及产品,感谢您的关注。