来源 :中金在线2024-02-25
数据显示芯碁微装(688630)新获得一项实用新型专利授权，专利名为“曝光设备”，专利申请号为CN202322225011.7，授权日为2024年2月23日。
专利摘要：本实用新型公开了一种曝光设备，曝光设备包括：上曝光组件，上曝光组件包括：上工作台、上吸附件和上曝光件，上吸附件可上下移动地设置于上工作台上，上曝光件设置于上工作台上；下曝光组件，下曝光组件位于上曝光组件的下方，且下曝光组件与上曝光组件之间可相对移动，下曝光组件包括：下工作台、下吸附件和下曝光件，下工作台与上工作台上下相对设置，下吸附件可上下移动地设置于下工作台上，下曝光件设置于下工作台上。可以在基板不翻转的情况下分别对基板的上下两个面进行曝光，无需利用翻板机对基板进行翻转，减小曝光设备所占用的空间，降低成本，提高产能，而且也可以避免玻璃双面曝光机划伤基板，提升成品率。
今年以来芯碁微装新获得专利授权5个，较去年同期增加了66.67%。结合公司2023年中报财务数据，2023上半年公司在研发方面投入了3885.2万元，同比减7.98%。