芯碁微装取得CN220399796U专利，极大提高了生产效率

　　据国家知识产权局公告，合肥芯碁微电子装备股份有限公司取得一项名为“一种被动元件直写曝光设备“，授权公告号CN220399796U，申请日期为2023年7月。

　　专利摘要显示，本实用新型涉及直写光刻技术领域，具体公开了一种被动元件直写曝光设备，包括基座、输送装置、拍板预对位装置以及中心曝光区。本实用新型通过采用具有双机构取放片功能的输送装置，在待曝光料片进行曝光时，输送装置同时进行下一片待曝光料片的拍板预对位等准备工作；曝光结束后，输送装置把已曝光料片取出，接着可立即把下一片待曝光料片放入曝光区，能够实现曝光动作的无缝对接，极大提高了生产效率。