芯碁微装申请成像设备定位靶标缺陷的检测方法专利，提高了定位靶标缺陷检测的准确性

　　金融界2024年1月10日消息，据国家知识产权局公告，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“成像设备定位靶标缺陷的检测方法、图像分割模型和装置“，公开号CN117372395A，申请日期为2023年10月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种成像设备定位靶标缺陷的检测方法、图像分割模型和装置，其中，成像设备定位靶标缺陷的检测方法包括：获取定位靶标的原始图像；原始图像输入图像分割模型，图像分割模型包括编码器、解码器、多尺度全局上下文模块和多尺度连续融合模块；原始图像输入编码器，以获得中间下采样分辨率特征图和末层下采样分辨率特征图；中间下采样分辨率特征图输入多尺度全局上下文模块，以获得全局上下文注意力特征图；全局上下文注意力特征图和末层下采样分辨率特征图输入多尺度连续融合模块，以获得末层下采样分辨率特征图融合有全局上下文注意力特征图的融合特征图。本发明的方法提高了定位靶标缺陷检测的准确性，减少了计算量和模型复杂度。