芯碁微装申请搬运手臂及具有其的曝光机专利，实现基板的快速搬运

　　据国家知识产权局公告，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“搬运手臂及具有其的曝光机“，公开号CN117163656A，申请日期为2023年8月。

　　专利摘要显示，本发明公开了一种搬运手臂及具有其的曝光机，搬运手臂包括基座组件、驱动组件、传动组件和吸附组件，驱动组件设于基座组件上；传动组件设于基座组件上，且传动组件与驱动组件传动连接；传动组件包括第一传动件和第二传动件，第一传动件和第二传动件传动连接，第一传动件设于驱动组件的输出端；吸附组件设于第二传动件上，吸附组件用于吸附基板。这样，通过设有驱动组件、传动组件和吸附组件，以让驱动组件提供驱动力并通过传动组件传递到吸附组件上，以驱动吸附组件运动到指定位置，从而让吸附组件可以吸附基板到指定位置以实现基板的快速搬运，且结构紧凑、便于维护、能够实现小型化设计。