来源 :金融界2023-11-25
金融界2023年11月25日消息，据国家知识产权局公告，合肥芯碁微电子装备股份有限公司申请一项名为“光刻显影制造系统“，公开号CN117111411A，申请日期为2023年7月。
专利摘要显示，本发明公开了一种光刻显影制造系统，包括：光刻单元、显影单元和运输单元；运输单元与光刻单元和显影单元连接，运输单元包括机械手，机械手构造成与基板相对设置且可夹持基板，且将基板依次在光刻单元和运输单元以及显影单元和运输单元之间转移，以让运输单元输出进行光刻处理和显影处理后的基板。这样，通过在运输单元上设有机械手，由于机械手适于与基板相对设置，以让运输单元在使用过程中适于通过机械手以将基板运输到光刻单元或者显影单元上分别进行光刻处理以及显影处理后适于通过机械手转运到运输单元上并进行输送，以实现光刻显影制造系统的自动化生产，从而降低基板的生产成本，提升基板的生产效率。