芯碁微装：中标数字掩膜光刻机

芯碁微装：中标数字掩膜光刻机。 据中招国际招标官网30日公告，芯碁微装(sh688630)成为中国电子科技集团公司第二十九研究所数字掩膜光刻机项目第一中标候选人，中标1台数字掩膜光刻机。另据芯碁微装在互动平台上表示，在制版光刻机领域，随着半导体掩膜版图形尺寸及精度随着半导体技术节点的演化而逐步提升，目前主流制程在100-400nm工艺区间, 公司满足量产90nm节点制版需求的光刻设备即将交付客户。在半导体应用领域，公司已具备提供光刻机配套的大孔径光学镜头的能力。公司成功开发的光刻机平行光源系统可用于国产光刻机领域配套，并已交付多套系统用于接近式掩膜芯片光刻工序。