来源 :上证e互动2023-09-27
芯碁微装(688630)您好，公司90-130nm晶圆级封装光刻机目前是否有订单，年产率为多少台，该光刻机是否可用于芯片掩膜板领域
尊敬的投资者您好！公司130-90nm制版光刻设备，能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%，产能120min/片。2023年公司已完成了90nm技术节点制版应用的研发，首台设备即将交付客户验证，感谢关注！