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芯碁微装(688630)内幕信息消息披露
 
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芯碁微装:公司130-90nm晶圆制版光刻设备研制及产业化项目已于2022年上半年验收

http://www.chaguwang.cn  2023-09-15  芯碁微装内幕信息

来源 :上证e互动2023-09-15

  芯碁微装(688630)在光刻机细分领域,我国依然被卡脖子,公司创立之初的奋斗目标是什么,目前募投项目中130-90nm国家级微纳直写光刻机研发进展如何,有无量产

  尊敬的投资者您好!公司始终坚持“光刻改变世界”的企业使命,时刻牢记“IC装备、世界品牌”的愿景,坚持“以客户为中心”的核心价值观,坚持“以市场需求为导向”,围绕自身技术优势,结合行业发展趋势,持续进行研发创新和产品迭代,满足国内外客户对直写光刻设备的需求。公司130-90nm晶圆制版光刻设备研制及产业化项目已于2022年上半年验收,能够实现最小线宽350nm、CD均匀度10%,产能120min/片,设备性能优异。感谢关注!

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