来源 :科创板日报2022-11-24
据芯碁微装官微消息,近日,芯碁微装MAS6直写光刻设备成功销往日本市场。据悉,MAS6直写光刻机设备是专门面向IC载板(FC-BGA基板、FC-CSP基板)领域量产L/S:10/10μm节点的客户需求进行开发。