来源 :界面新闻2023-09-04
盛剑环境近期接受投资者调研时称，公司在L/S设备方面，研发验证等离子+水洗双腔样机，填补了公司在双腔设备机型方面的空白。在国际高难度制程的常压EPI领域，公司完成国内首台套水洗+燃烧+水洗的设备厂内性能验证和SEMI认证，并与某集成电路头部客户达成合作测试验证协议。同时，积极开拓新能源领域市场，结合TOPcon电池PE-Poly工艺高SiH4和H?的特点，定向研发PW3000机型有效解决了粉尘堵塞PM周期短的痛点，提升客户的生产稼动率，并先后取得扬州新瑞、天合光能等客户的批量订单；在真空设备方面，完成了2款机型的研发验证测试，并首次获得集成电路领域的维保服务订单；在温控设备方面，完成首款三通道产品的研发验证测试。