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正帆科技(688596)内幕信息消息披露
 
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正帆科技:文德昌潍交付针对碳化硅图形化晶圆制程的检测设备

http://www.chaguwang.cn  2026-01-15  正帆科技内幕信息

来源 :上证e互动2026-01-15

  正帆科技(688596)请问,参股公司文德昌潍出货了一台新设备,这台设备对标国产或者国外的哪一款设备?对于这款设备的量产进度有没有一个预估?

  您好,文德昌潍此次交付的是针对碳化硅图形化晶圆制程量身打造的检测设备,该设备聚焦于6/8英寸SiC晶圆工艺控制。本次的成功交付,是文德昌潍从技术研发走向客户现场应用的关键一步,充分验证了其产品开发与市场落地能力。

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