来源 :上证e互动2024-11-11
正帆科技(688596)你好，请问公司产品是否可以用于光刻机？谢谢
您好！公司的电子气体、电子先进材料及相关气化供应系统主要应用于半导体制程中的掺杂、刻蚀、薄膜沉积等工艺环节。