来源 :上证e互动2023-08-29
正帆科技(688596)请问董秘,公司计划在铜陵投建“前驱体”产品,半导体前驱体是壁垒很高的先进材料,公司是如何具备前驱体制造能力的?
您好,前驱体是半导体薄膜沉积工艺的核心制造材料,主要应用于气相沉积(包括PVD、CVD和ALD)以形成符合半导体制造要求的各类薄膜层,特别是随着ALD技术的不断发展,前驱体材料的应用场景越来越广泛;正帆深耕超高纯流体供应系统20多年,2013年进入电子特气领域以来积累了高水平的提纯和检测技术,正帆已具备制造半导体前驱体所需的合成、提纯、检测、包装和供应等核心能力,近年来不断引入国外资深专家,加强研发力度,从而在去年底实现了几类高难度前驱体产品的技术突破,谢谢。