海目星获得实用新型专利授权：“搬运装置以及硅片加工设备”

　　数据显示海目星（688559）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“搬运装置以及硅片加工设备”，专利申请号为CN202323196084.4，授权日为2024年8月27日。

　　专利摘要：本实用新型公开了一种搬运装置以及硅片加工设备，其中硅片加工设备包括：底座、驱动件、摆臂、吸附件以及紧固件。驱动件连接于底座，摆臂连接驱动件，驱动件用于驱动摆臂旋转设定角度，吸附件用于与外部气源连接，以取放硅片，吸附件为与硅片形状相适配的矩形结构，吸附件可转动连接于摆臂紧固件用于可选择地对吸附件与摆臂之间的相对位置进行锁定和解除锁定。在利用搬运装置对硅片进行搬运时，无需利用旋转机构调节硅片与吸附件的相对位置以及硅片运动至第二工位的位姿，从而提高硅片的搬运效率，并降低设备的成本。

　　今年以来海目星新获得专利授权230个，较去年同期增加了36.9%。结合公司2023年年报财务数据，2023年公司在研发方面投入了5.4亿元，同比增30.96%。