来源 :上证e互动2023-05-23
茂莱光学(688502)众所周知，国产光刻机的一个重要瓶颈就在于光学镜头技术。请问公司近期在该方向有没有可能实现突破性进展？谢谢！
光刻机是集成电路制造的关键核心设备。高端光刻机含有上万个零部件，光学器件是其中的一类关键部件，对光刻机的成像分辨率和套刻精度有重要影响。光学器件精度需控制在几纳米以内，对误差和稳定性的要求极为苛刻。公司为光刻机光学系统提供用于匀光、中继照明模块的光学器件、投影物镜，以及用于工件台位移测量系统的棱镜组件，是光刻机实现光线均匀性与曝光成像的关键模块。