来源 :每经网2023-12-14
晶升股份近日接受机构调研时被问及明年碳化硅长晶炉的意向订单是以PVT法还是液相法为主？对此，晶升股份表示，采用液相法可通过掺杂使碳化硅在高温下变为液态。相比PVT法而言，液相法可以观测且更便于在长晶过程中进行干预。但液相法目前还处于行业的前期探索研究阶段，其核心问题是缺乏下游芯片厂的应用数据积累。公司在早期就成功研发出液相法的碳化硅长晶炉并已向多家客户供应，但就明年订单情况来看PVT法长晶设备仍然占绝大多数。（每日经济新闻）