来源 :上证e互动2023-06-05
富创精密(688409)友商正帆科技做的Gasbox跟贵公司的气体模组有什么区别？贵公司有没有类似的国内独一份的零部件或者模组？请正面回答，不要笼统的说7nm啥的！
尊敬的投资者您好，公司的气柜模组是特种工艺气体输送控制装置，按照晶圆生产工艺的具体需求对不同特殊工艺气体进行传输、分配和混合。公司运用不锈钢超高光洁度制造技术、高洁净度精密清洗技术、电子束焊接技术和超洁净管路焊接技术，并集成流量、压力测量与控制以及气体混合与输送部件，以实现对工艺气体的流量、压力、浓度、混配比及反应时间等方面的精准控制并确保洁净度、耐腐蚀性及安全性。公司生产的气柜模组在精准控制、密封性、安全性等性能指标可以达到甚至优于主流客户的标准，公司可自主设计或参与设计应用于先进制程的IC气柜模组，对于半导体设备具备深刻理解和工艺集成能力。感谢您对公司的关注！