路维光电掌握先进半导体掩膜版技术

　　路维光电近日宣布，公司已掌握150nm/130nm制程节点半导体掩膜版制造技术，该技术满足集成电路芯片制造、先进半导体芯片封装等产品的生产要求，技术处于国内先进水平。公司表示，已实现180nm制程节点半导体掩膜版量产和150nm制程节点产品内部试样测试，产品已供应多家下游客户，包括国内领先芯片公司及其配套供应商、中芯集成电路(宁波)有限公司、通富微电、品方科技、华天科技等。路维光电主营业务为掩膜版的研发、生产和销售，主要产品包括石英掩膜版、苏打掩膜版、平板显示掩膜版、半导体掩膜版等。