来源 :格隆汇2024-03-15
格隆汇3月15日丨路维光电(688401.SH)近日在接待机构投资者调研时表示,公司目前的主要生产设备光刻机主要采购自瑞典的 Mycronic、德国的海德堡仪器两家公司。
公司生产掩膜版所需的主要原材料为掩膜版基板、光学膜。目前掩膜基板中的中大型尺寸石英基板尚依赖进口,其中,高世代石英基板及光学膜的供应商集中于日本、韩国。目前国内供应商也在积极推进高世代、高精度掩膜版基板的国产化进程。