来源 :金融界2023-12-23
金融界2023年12月23日消息，据国家知识产权局公告，深圳市路维光电股份有限公司申请一项名为“一种功能型掩膜版及其制备工艺、应用“，公开号CN117265494A，申请日期为2023年9月。
专利摘要显示，本发明涉及掩膜版制造技术领域，具体公开了一种功能型掩膜版及其制备工艺、应用，功能型掩膜版中的缓冲层在涂胶前，直接采用磁控溅射镀在图案层上，然后采用湿刻蚀工艺去除图案层待刻蚀位置所对应的缓冲层。本发明改变传统功能型镀膜制作工艺，将缓冲层在基板涂胶前，直接镀在图案层上，把图案层作为基板的保护层，避免基底在磁控溅射制备缓冲层的过程中所产生的高能粒子轰击到基板上，有效防止了基板受杂质轰击出现损伤，从而避免掩膜版产品报废。