来源 :上证e互动2026-06-26
华润微(688396)公司在哪些半导体生产工艺及环节会用到半导体臭氧及臭氧水设备？ 尊敬的投资者您好，感谢您对公司的关注。臭氧在半导体行业的应用范围主要包括薄膜沉积、湿法清洗、表面处理、氧化物生成等工艺制程。谢谢！