中科飞测-U申请检测方法、检测系统、设备及存储介质专利，有利于获得高精度的检测结果

　　2024年1月12日消息，据国家知识产权局公告，深圳中科飞测科技股份有限公司申请一项名为“检测方法、检测系统、设备及存储介质“，公开号CN117388280A，申请日期为2022年7月。

　　专利摘要显示，一种检测方法、检测系统、设备及存储介质，方法包括：通过入射光在待测点表面形成入射光斑，所述入射光经待测点后形成信号光；通过探测器采集处于所述入射光斑中不同第一相对位置的同一所述待测点的信号光；根据每个第一相对位置的来自待测点的信号光获取一个待测参数，以获取多个所述待测参数；根据多个所述待测参数及所述第一相对位置，获取所述待测点处于所述入射光斑中心位置处的待测参数，得到所述待测点的目标参数。本发明有利于获得高精度的检测结果。