中科飞测：纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备的研发进展顺利

　　中科飞测近期接受投资者调研时称，纳米图形晶圆缺陷检测设备、关键尺寸量测设备的研发正按计划进行，研发进展顺利。