来源 :上证e互动2023-07-10
中科飞测(688361)亲爱的董秘，您好，祝贺公司成功上市，细细看了招股书，请教您几个问题，1.套刻设备已经在验证，现在到哪一步了？2.纳米图形晶园缺陷检测设备是明场28nm吗？研发到哪个阶段了呢？感谢。
您好，感谢您对公司的关注。套刻精度量测设备和纳米图形晶圆缺陷检测设备等产品正按计划进行。最新的进展请密切关注公司的公告。