来源 :上证e互动2024-10-09
奕瑞科技(688301)您好,公司推出的残余气体分析仪目前进展如何?什么时候可以推向市场?
尊敬的投资者您好,公司目前已推出残余气体分析仪(RGA),该产品可用于半导体工艺过程中复杂气体组分的实时监测,通过动态分析真空系统中各种气体分压强的变化,可以有效监控真空环境工艺的条件,为各种真空工艺达到可测、可控、可重复提供了有效的工具,该产品可广泛应用于半导体制造、显示面板制造(包括OLED)等领域。目前该产品已开始测试及销售。感谢您的关注,谢谢。