敏芯股份取得单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备专利，增强产品可靠性，减小了扭摆位移量

　　据国家知识产权局公告，苏州敏芯微电子技术股份有限公司取得一项名为“单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备“，授权公告号CN117192155B，申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，本申请提供一种单质量三轴MEMS加速度传感器和电子设备；该单质量三轴MEMS加速度传感器包括：位于活动层的活动质量结构和边框；活动质量结构包括第一可动梁、第二可动梁及锚点；锚点用于固定第一可动梁和第二可动梁；第一可动梁和所述第二可动梁之间通过连接部连接，连接部的刚度大于所述第一可动梁的刚度，和/或，连接部的刚度大于第二可动梁的刚度；本申请通过连接部将第一可动梁和所述第二可动梁连接，可以减小活动质量结构在向第一方向运动时第二可动梁的变形，同时也可以减小活动质量结构在向第二方向运动时第一可动梁的变形，从而减小了第一可动梁和第二可动梁的交互影响，增强产品可靠性，减小了扭摆位移量。