敏芯股份：MEMS扫描镜方案助力智能传感发展

　　MEMS扫描镜也称为MEMS微镜，是将微光反射镜与MEMS驱动器集成在一起制造而成的光学MEMS器件。MEMS扫描镜通过镀膜镜面的共振偏转实现激光光束的高速动态扫描，其通过半导体工艺加工制成，具有扫描效率高、体积小，重量轻，批量化、使用寿命长、功耗低、成本低等优点。在激光雷达、机器视觉、微型投影、生物医疗等应用具有广泛的需求，是激光应用必不可少的关键激光元器件。

　　

　　根据扫描轴的数量，MEMS扫描镜可以分为单轴和双轴两种。单轴扫描镜具有结构、工艺简单、成本低、扫描角度大等优势；双轴扫描镜单芯片则可实现二维扫描，最能体现MEMS技术的优势，但其技术难度高。

　　敏芯股份作为国内屈指可数掌握多品类MEMS芯片设计和制造工艺能力企业，可提供高端定制化的MEMS扫描镜芯片，包含一维和二维扫描镜，扫描镜的镜面尺寸包含1mm-4mm,镜面镀金。

　　

　　通过半导体工艺加工制造，首先通过EPI和CMP工艺形成绝缘槽，实现电极的隔离，后通过DRIE工艺形成梳齿结构的驱动部件，通过静电驱动原理来驱动中心镜面进行扭转振动。

　　

　　同时，敏芯股份提供MEMS振镜的驱动和控制电路，可减少开发者的开发难度，加快开发进程。