来源 :科创板日报2022-04-19
财联社4月19日电，财联社记者从华特气体2021年度业绩说明会上获悉，公司在研项目中30%以上投入以研发刻蚀气体为主。自主研发的高纯一氟甲烷、高纯二氟甲烷和高纯乙烯等产品导入半导体客户认证通过后并产生了订单，募投项目中部分氟碳类产品已有少量产能释放，锗烷已在产能爬坡阶段。董事会秘书万灵芝表示：“2022年将重点突破以高纯二氧化硫、四氟化硅等为主的刻蚀类产品。”(财联社记者陆婷婷）