来源 :金融界2023-11-29
据国家知识产权局公告,合肥晶合集成电路股份有限公司取得一项名为“一种半导体结构及其制备方法“,授权公告号CN116799005B,申请日期为2023年8月。
专利摘要显示,本发明提供一种半导体结构,包括:衬底;栅极结构,形成于所述衬底上;侧墙结构,形成于所述衬底上,所述侧墙结构包括多个侧墙层,所述侧墙层位于所述栅极结构的外围;以及源极结构与漏极结构,形成于所述衬底上,所述源极结构与所述漏极结构位于所述侧墙结构的两侧;其中,相邻两个所述侧墙结构之间的间距大于所述源极结构和/或所述漏极结构的长度。通过本发明公开的一种半导体结构及其制备方法,能够提高半导体结构的可靠性。