来源 :金融界2023-11-19
金融界2023年11月17日消息，据国家知识产权局公告，山东天岳先进科技股份有限公司取得一项名为“一种碳化硅晶棒内部空洞的无损检测系统及方法”，公开号CN117074518A，专利申请日期为2023年11月。
专利摘要显示，本发明公开了一种碳化硅晶棒内部空洞的无损检测系统，该无损检测系统包括涡流探头、变频交流电发生器、第一涡流探测传感器、第二涡流探测传感器、定位探头、终端和样品托。本发明通过涡流探头和第一涡流探测传感器的配合，确定检测点下方存在空洞，并初步判断空洞位置，同时通过定位探头和第二涡流探测传感器的配合，实现了空洞位置的确定。本发明在对碳化硅晶棒的空洞检测的过程中，无须采用切片显微检测的方式，不会对碳化硅晶棒产生破坏，在检测完成后碳化硅晶棒仍可继续使用，同时可以确定空洞位置，便于根据空洞位置对存在空洞的碳化硅晶棒进行后续处理。
采集日期：2023年11月19日