来源 :概伦电子Primarius2024-06-04
近日，由中国仪器仪表学会主办的首届科学仪器开发者大会在山东青岛成功举办。大会以“创新点亮未来”为主题，汇聚了科学仪器研发领域的专家学者和众多优秀企业代表，共同分享与探索科学仪器创新与应用之道。作为国内首家EDA上市公司、关键核心技术具备国际市场竞争力的EDA领军企业，概伦电子也长期为客户提供行业领先的半导体参数量测产品和解决方案。当日，概伦电子研发副总裁李淼先生受邀出席大会，并致《先进半导体参数量测设备的设计与应用》主题演讲。
概伦电子研发副总裁李淼先生
务实笃行，护航应用发展
随着新材料、新工艺、新结构的不断发展，新型半导体器件和工艺的研发正面临着更小物理尺度、更高功率密度、更复杂物理效应和失效机制等方面的挑战。测试电性、噪声等半导体关键参数可帮助研发人员对器件性能和可靠性进行快速精确分析，为半导体工艺平台开发、芯片设计和EDA应用提供高效、高质量、高附加值的数据支撑，进而优化工艺配方，改进器件性能，缩短研发迭代周期。
在半导体器件表征仪器开发与应用创新分会场，概伦电子研发副总裁李淼先生与业界专家就半导体参数量测设备在集成电路工艺控制优化、可靠性分析等实践应用领域中的重要作用进行了探讨，进一步分析了市场规模和发展趋势、不同应用领域的独特测试需求，以及在这些需求驱动下国产化半导体参数量测设备的快速发展和技术挑战，例如不断提升基本测试模组的性能和性价比，对测试方法、测试设备与测试方案进行系统级优化，甚至建立新兴测试应用领域的标准等。为应对这些挑战，李淼先生和与会各界一起探讨了参数量测设备的产品与研发创新方向，并介绍了概伦电子自主研发的新一代半导体参数测试平台和部分测试模组成果。
【圆桌讨论】半导体器件表征仪器开发与应用创新
李淼先生表示，概伦电子是国内半导体参数量测设备开发的先行者，长期致力于为客户提供行业领先的半导体参数量测产品和解决方案，始终以应用为导向，携手产学研用各界一起，突破半导体领域新研究、新应用的边界，深耕技术创新，不断突破关键量测设备的能力，推进测试能力整合与架构创新。概伦电子希望利用自身在半导体参数量测和技术开发等领域的实践经验，结合已具备国际市场竞争力的关键EDA工具，进行DTCO的应用和创新探索，推动中国半导体参数量测的创新和发展。
深耕不辍，探索技术创新
自第一台9812D低频噪声分析仪问世以来，概伦电子始终坚持以技术创新为核心引擎，不断推出具有行业先进性能的半导体参数测试设备。2021年，概伦电子依托多年产学研合作优势，与多所科研院所、顶尖高校开展紧密合作，先后攻克多项短脉冲测试技术难题，实现了100ns级别的短脉冲IV（PIV）高精度测量。针对晶圆级半导体器件自动化测试需求，概伦电子于2023年推出了低漏电矩阵开关模块FS821，可实现100fA偏移电流，支持最大200V/1A直流范围，性能指标可达国际先进水平。概伦电子还在业界首创商用级动态交流噪声测试系统9812AC，填补了行业产品在相关应用领域的空白，为探索半导体研究新领域提供了全新的专业工具。
概伦电子现场展示半导体参数测试与全自动解决方案
目前概伦电子的测试产品和解决方案已广泛服务于国内外上百家领先集成电路企业，覆盖科研院所、芯片设计、晶圆代工以及IDM等多个领域的企事业单位，在先进工艺和器件研发和高性能模拟电路设计等多种应用场景都有大量的成功部署案例。
在新一轮产业变革与国际环境的发展趋势下，我国科学仪器产业发展正在快速步入新阶段。在这条新征程之上，概伦电子将持续围绕工艺与设计协同优化进行技术和产品的战略布局，持续对核心数据获取技术和相关量测设备进行研发、演进和拓展，与生态伙伴一起，不断探索测试仪器技术新边界，激发半导体应用新潜力，共同推动半导体行业迈向新的发展阶段。