来源 :上证e互动2023-05-31
燕东微(688172)请问董秘，贵公司于2023年5月27日发布的招标购买38台12英寸产线离子注入设备用真空泵是应用在哪方面？
尊敬的投资者您好，上述设备主要用于12英寸项目注入设备。