来源 :上证e互动2024-01-24
炬光科技(688167)炬光科技领导您好，请问贵司纳米压印技术涉及到的主要是哪个方面的内容？
尊敬的投资者您好，公司最近成功并购的瑞士SMO（标的公司），有两种微纳光学的制备技术：一种是光刻-反应离子蚀刻法，即在6或8英寸硅或熔融石英晶圆上通过精密光刻-反应离子蚀刻的工艺实现微纳光学元器件的加工制造；另一种是纳米压印精密微纳光学设计与加工制造技术，即结合微纳光学设计目标进行母版的设计与制造，在8英寸晶圆基板上进行精密压印，达到小于±5微米的模具与基板对准精度。目前标的公司正在通过技术研发和设备升级，形成12英寸晶圆微纳光学加工制造能力。8英寸晶圆处于成熟量产阶段，12英寸晶圆处于开发阶段。感谢您对公司的关注！