来源 :上证e互动2023-09-18
炬光科技(688167)您好,公司作为光场匀化器龙头,在已经有成熟的DUV用基础上是否有EUV光刻机的研究开发工作
尊敬的投资者您好,公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司,最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司根据客户的不同型号需求,匹配不同波长的光场匀化器,目前产品已经用于KrF,ArF,ArF浸没式等DUV光刻机。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机,由于EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。感谢您对公司的关注!