来源 :格隆汇2023-06-26
6月26日有投资者向炬光科技(688167.SH)提问，“在介绍中说的A公司是荷兰ASML(阿斯麦)吗？公司在光刻机领域有哪些合作企业，技术优势如何，是否有“护城河”产品。对国家全力发展集成电路。公司有哪些贡献？”
炬光科技回复称，公司在招股书中披露的客户代码是按照客户在文中出现的顺序进行排序。客户代码为A客户的是德国一家公司，为荷兰ASML光学设备核心供应商，公司向其提供光刻机曝光系统中的核心激光光学元器件光场匀化器。在集成电路光刻领域，公司与国内在这一领域的研发单位有广泛合作，公司的光场匀化器产品应用于国内主要光刻机研发项目和样机中。在集成电路28nm及以下逻辑芯片制造前道工序中，激光退火(Laser Annealing)是不可缺少的关键工艺之一。过去该项技术一直由美国公司在全球垄断，超过15年。炬光科技通过100%自主知识产权的创新技术，开发了DLight?S系列半导体集成电路晶圆退火系统，能够实现动态表面退火(DSA)加工工艺，打破了国外公司对半导体集成电路关键制程核心设备长期垄断的局面，填补了国内这一技术空白。炬光科技的半导体集成电路晶圆退火系统不仅是进口代替，更实现优于国外同类产品的技术指标，具有行业领先性。目前该系统已经应用于28nm及以下逻辑芯片制造前道工序核心工艺设备，在2家国内顶尖半导体设备集成商客户、2家全球TOP5晶圆代工厂完成工艺验证，进入量产，打破国外公司在这一领域的长期垄断，实现进口淘汰。