来源 :上证e互动2022-05-05
炬光科技(688167)公司您好！请问公司向A公司的光刻系统提供光场匀化器，该光刻系统的光的波长是多少（例如365nm以上、248nm、193nm、EUV的13.5nm）？谢谢！
尊敬的投资者，您好！公司的光场匀化器产品供应给世界顶级光学企业A公司，最终应用于全球高端光刻机生产商的核心设备。公司是根据不同客户需求，匹配不同波长的光场匀化器，覆盖了DUV全部波长。公司光场匀化器产品目前没有用于EUV光刻机。EUV光刻机和DUV光刻机光学工作原理不同。感谢您的关注。