微导纳米申请新专利，能够提高掺杂的均匀性

　　据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“一种掺杂型硅玻璃及其制备方法“，公开号CN117276056A，申请日期为2023年10月。

　　专利摘要显示，本申请提供一种掺杂型硅玻璃及其制备方法。掺杂型硅玻璃的制备方法包括：提供含硅衬底；在含硅衬底上采用原子层沉积无机氧化物薄膜；利用激光将无机氧化物薄膜中的特定原子推入含硅衬底中，制得掺杂型硅玻璃。本申请通过先在含硅衬底表面采用原子层沉积无机氧化物薄膜作为掺杂源，再利用激光将掺杂源中的原子推入含硅衬底的方式制得掺杂型硅玻璃，避免采用高温扩散工艺，从而无需更换石英材质的扩散炉管，极大的降低了生产成本，提高了产能和生产效率，并且相比于现有制备方法，本方法能够提高掺杂的均匀性，降低表面杂质浓度，有利于提高批量制得的掺杂型硅玻璃的性能。