来源 :金融界2023-11-23
2023年11月23日消息，据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司申请一项名为“载片舟、扩散设备以及扩散工艺方法“，公开号CN117096074A，申请日期为2023年10月。
专利摘要显示，本申请公开了载片舟、扩散设备以及扩散工艺方法。载片舟包括底柱。底柱的两端设置有侧板，侧板之间通过侧板两侧的连接柱连接。底柱、侧板和连接柱围设出用于承载晶片的容置空间。其中，载片舟还包括加强板，加强板与侧板间隔设置，连接柱穿设加强板，并将容置空间间隔形成多个容置区域；载片舟在重力方向上朝下设有凸出于底柱的定位部，定位部用于与桨杆配合实现载片舟的转移。通过上述方式，本申请提高了载片舟的载片量。