来源 :上证e互动2023-11-23
微导纳米(688147)尊敬的董秘你好！请问贵司在多重曝光领域的技术积累是否开始有落地应用。最近华为7nm甚至5nm自主芯片落地，请问贵司的技术是否能够应用在n+1或者n+2的多重曝光领域。
尊敬的投资者您好。多重曝光技术（MultiPatterning）指通过重复的曝光和刻蚀工艺，追求更高图形密度和更小工艺节点的技术，可以使用在多个技术节点。多重曝光技术中，通过利用ALD技术沉积厚度均匀的薄膜（spacer材料）的自对准双重成像（SADP)技术对套刻误差的容忍度更高。目前ALD技术可在多重曝光中推广应用。感谢您的关注。