微导纳米取得喷淋结构及镀膜技术专利，可有效降低基材表面处理过程中产生的粉尘量

　　据国家知识产权局公告，江苏微导纳米科技股份有限公司取得一项名为“喷淋结构、反应腔室、镀膜设备及镀膜方法“，公开号CN117070923A，专利申请日期为2023年11月。

　　专利摘要显示，本申请公开一种喷淋结构、反应腔室、镀膜设备及镀膜方法，属于镀膜技术领域。喷淋结构包括顶板、喷淋模块，多个喷淋模块间隔安装于顶板，喷淋模块为设有开口的腔形体；喷淋模块内设有化学源导管，化学源导管上开设有若干个化学源喷淋孔；顶板设有与喷淋模块相通的抽气孔；工作状态时，阻隔气体与每个喷淋模块分别形成具有缺口的包围空间，缺口位于喷淋模块朝向基材的开口处，化学源通过化学源喷淋孔、缺口喷向基材，对基材进行处理。本申请所提供的喷淋结构，设置多个彼此独立的喷淋模块，化学源导管设置在喷淋模块内，可在工作状态时通过阻隔气体与喷淋模块的共同作用将化学源隔离在各个喷淋模块内，有效降低基材表面处理过程中产生的粉尘量。