微导纳米：公司iTronix系列CVD系统是公司半导体领域新产品

　　微导纳米(688147)您好，请问贵公司公众号发布的LPCVD设备是什么设备？应用于薄膜沉积设备的哪里？这样公司在薄膜沉积设备的总覆盖率是多少？

　　尊敬的投资者您好。据SEMI和北京欧立信数据显示，在2021年全球各类薄膜沉积设备市场份额中，PECVD、LPCVD等CVD技术仍是薄膜设备中占比最高的设备类型，PECVD占整体薄膜沉积设备市场的33%，LPCVD设备占比各约为11%。公司iTronix系列CVD系统是公司半导体领域新产品，以期通过该系列产品进入CVD这个应用规模更大市场，扩展成长空间。感谢您的关注。