来源 :上证e互动2023-05-08
微导纳米(688147)请问董秘。ALD技术能不能应用到固态电池的无电解液化进程上。
尊敬的投资者您好,ALD技术具有优异的三维共形性、大面积均匀性和简单精确的膜厚控制特点,能够实现较高的台阶覆盖率,是一项具备前瞻与共性的关键真空镀膜技术,可应用于多个重要产业。目前公司ALD技术主要应用于晶圆加工及光伏电池片生产的薄膜沉积工艺环节。