微导纳米：目前用于TOPCon电池的设备均已实现产业化应用，并已完成GW级别产线验证

　　微导纳米近期接受机构调研时表示，公司ALD设备可用于正面Al2O3钝化层的制备，PECVD设备可用于正反面的SiNX薄膜制备，PEALD/PECVD二合一设备可用于背面超薄隧穿氧化层（SiO2）和多晶硅层（Poly-Si）的制备，羲和系列设备可以完成扩散、退火等步骤。目前公司用于TOPCon电池的设备均已实现产业化应用，并已完成了GW级别产线的验证。