来源 :盛景嘉成母基金2022-12-26
微导纳米是盛景嘉成母基金（高瓴天成三期专项）投资覆盖项目。
12月23日，江苏微导纳米科技股份有限公司（以下简称“微导纳米”）成功登陆科创板，成为国内ALD设备第一股。
微导纳米成立于2015 年12 月，是一家面向全球的高端设备制造商，是国内率先将原子层沉积（ALD）技术应用于光伏领域，并在此基础上继续拓展ALD技术在半导体、柔性电子等方面应用的企业。
微导纳米专注于先进微米级、纳米级薄膜沉积设备的研发、生产与应用，业务涵盖集成电路、光伏、LED、MEMS 等半导体相关领域，以及柔性电子领域；主要产品为应用于逻辑芯片、存储芯片、硅基微显示和3D 封装等半导体及泛半导体ALD 设备和技术，以及应用于柔性电子、新一代高效太阳能电池的薄膜设备和量产解决方案。公司同时是工信部 2021 年公布的第三批专精特新“小巨人”企业。
微导纳米是国产替代和自主可控的代表性企业，公司将基础研发与行业应用紧密结合，产品率先用于光伏电池片生产过程中的薄膜沉积环节。在成功将ALD技术应用于光伏领域后，公司开发了对技术水平和工艺要求更高的半导体薄膜沉积设备，成为国内首家成功将量产型 High-k原子层沉积设备应用于 28nm节点集成电路制造前道生产线的国产设备公司，实现了国产ALD设备在28nm集成电路制造关键工艺（高介电常数栅氧层材料沉积环节）中的突破，标志微导纳米在国产ALD装备产业化领域迈出坚实步伐。
招股书显示，目前，微导纳米已获得包括通威太阳能、隆基股份、晶澳太阳能、阿特斯、天合光能等多家重要光伏客户订单，并在TOPCon、XBC等高效电池生产线上开展应用，技术能力受到下游厂商认可，成为国内主要的光伏镀膜设备企业之一，公司已经获得多家国内知名半导体企业订单并积极拓展相关应用领域。