来源 :腾讯大燕网·河北2023-10-26
电子特种气体是半导体发光元器件，是高端存储处理芯片生产所需关键原材料，被称为半导体工业的“血液”及“粮食”。在邯郸，有这样一家主营电子特种气体的企业，用自主研发的特气生产技术，打破国外垄断，解决了国内技术空白的难题，让中国创造成为全球市场中的耀眼明星。特别策划《河北工业企业高质量发展巡礼》今天走进中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司。
记者来到位于邯郸市肥乡区的中船（邯郸）派瑞特种气体股份有限公司，看到厂房车间一尘不染，生产设备正在生产三氟化氮、六氟化钨等电子特种气体。
“三氟化氮主要在集成电路制造过程中做清洗剂、刻蚀剂，做半导体晶体管生产中刻线的宽度，在一定面积上，刻线越窄做的晶体管数量越多，目前我们国家做到的水平是1平方厘米，相当于一个指甲盖上可以做150多亿个晶体管。”公司董事、原董事长王少波介绍。
电子特种气体是半导体发光元器件、高端存储处理芯片生产所需关键原材料，小到银行卡、手机，大到卫星上天、导弹发射，都和它息息相关。王少波告诉记者，手机里的芯片上有成千上万的电路线槽，宽度只有几纳米，是头发丝的百万分之一。
“三氟化氮是公司研发的第一个品种，最初研发成功的电子特气纯度是99.9%，目前我们已经生产出99.99%纯度的电子特气，有一部分特气纯度甚至能达到99.999%。”王少波董事说。
电子特种气体被誉为半导体工业的“血液”及“粮食”，市场前景广阔，长期被国外企业垄断。为突破特气制造“卡脖子”难题，中船特气自主研发，实现“电子特气”的“中国制造”，填补了国内空白。拳头产品三氟化氮年产能达到9250吨，六氟化钨年产能达2230吨，分别位居全球第二和全球第一。
靠着过硬的产品和技术，将“一米宽”的市场做到“百米阔”“大纵深”，2022年，中船特气成为电子特种气体收入规模最大的国内企业，位列全球第九名。副总经理丁成说，中船特气已成为因特尔、三星、东芝、铠侠、台积电、中芯国际、华润、京东方等国内外知名品牌的电子气体供应商。
除了对“拳头产品”的匠心打造，企业还在生产流程自动化、流程化上做文章，工程师段海洋告诉记者，公司对生产线进行全程管控，在各车间部署分布式控制系统，实现用机械化换人，自动化减人。
“车间引进了粉体拆包、钢瓶包装等自动化设备，并部署人员定位系统，在安全生产方面我们也投入了安全双控系统，引进AI视频检测，在高危车间部署了巡检机器人，能够实现自动化的巡检。”段海洋说。
在不断的迭代升级中，中船特气在电子特种气体这条赛道上不断实现新的突破。目前，中船特气正在建设5G全链接智能工厂，顺应高端化、智能化、绿色化发展趋势，优化升级工厂自动化产线。“我们目前正在改造车间的阀门仪器仪表，实现远传功能，另外还要建立工业互联网平台和数据中台，把设备、应用系统的数据连接起来，分发到不同的系统中，避免网状系统交叉对接。”信息化组组长侯雨飞介绍。
今年4月，中船特气在上海证券交易所科创板成功上市，是我省首家科创板公司。作为国内电子特种气体行业领头羊，手握百余项专利的中船特气，仍在加速产品应用技术开发。
“创新是一个企业持续发展的动力，我不希望把公司变成一个工厂，因为我们是科创板属性，不断加强我们做产品的能力，去更新迭代产品，这是我们希望达成的样子。”总经理孟祥军说。