来源 :上证e互动2023-07-14
中船特气(688146)请问公司电子特种气体可用于光刻领域么
感谢您的关注。公司生产的混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、退火等多个工艺。基于自身掌握的纯化和混配技术，公司混合气产品组分纯度可达6N，目前已实现30余种电子混合气的量产供应。