前身为中国船舶集团公司第七一八研究所特种气体工程部的中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司(简称中船特气),是国内领先、世界知名的电子特种气体和三氟甲磺酸系列产品供应商,是国务院国资委“双百行动”综合改革、国家发改委混合所有制改革试点企业,是集科研、生产、销售、服务于一体,拥有核心自主知识产权的高新技术企业。公司主要从事电子特种气体及三氟甲磺酸系列产品的研发、生产和销售,主要产品包括高纯三氟化氮、高纯六氟化钨、高纯氯化氢、高纯氟化氢以及三氟甲磺酸、双(三氟甲磺酰)亚胺锂等含氟新材料。其产品广泛应用于集成电路、显示面板、锂电新能源、医药、光纤等行业,是上述产业发展不可或缺的关键性材料。经过多年发展和积累,公司目前已具备电子特种气体及含氟新材料等50余种产品的生产能力,成为行业内产业规模大、客户覆盖广、创新能力强且具备参与全球竞争能力的头部企业。
公司以“服务国家战略、引领行业发展”为使命,不断加大研发投入、聚焦关键技术研发、加速科技成果转化、扩大产业规模,将电子特种气体业务做强、做优、做大,进一步拓展全球市场,解决了多项电子特种气体材料“卡脖子”问题,实现特种气体“中国创造”。
公司外景
引领行业,见证“特气速度”
2000年成立之初,中船特气前身第七一八研究所8位“先行者”坚守“不怕苦、不怕累、以国家需要为根本”的初心,在不足百平米的简易锅炉房中,开展三氟化氮特种气体的研发工作。不到两年时间,他们就成功研制出高纯度99.9%电子级三氟化氮,打破国外技术垄断,填补了国内空白。
2013年,第七一八研究所作为牵头单位承担了国家科技重大专项“极大规模集成电路制造装备及成套工艺”(02专项)中的“高纯电子气体研发与产业化”项目,实现了里程碑的跨越。
2016年,特气人以“填空白、保安全”的发展决心,于肥乡建立特种新材料气体产业基地,开启大规模产业化步伐。公司建设三氟化氮、六氟化钨、氘气、烷类等20余种特种气体生产线、研发中心及配套设施附属设施等,实现新增年产17800吨特种气体产品生产能力。
2018年5月,台积电、日本东芝、京东方、中芯国际、华星光电、德淮半导体、三星电子、天马微电子、联华电子、熊猫电子、华虹宏力、华润微电子等来自全球60多家半导体和液晶面板行业的厂商齐聚邯郸,共同见证了公司七一八所特种气体新材料产业基地一期项目正式投产。
2019年,二期项目开始建设,主要产品为三氟化氮、六氟化钨、六氟丁二烯及氯化氢、氟化氢、四氟化硅等高纯气体。公司再次展示出“特气速度”,仅用6个月时间就完成了212台生产设备、750吨钢结构、2.5万米工艺管道、3万米电气电缆的工程量,建成全球单条产能最大的三氟化氮生产线。
2021年,公司进一步打开境外销售市场,进入海力士、SDP等企业,实现韩国市场、日本显示面板行业零的突破,助推境外市场销售份额扩增。
2021年,公司电子特种气体收入位列全球第九名,是唯一进入全球前十的国内电子特种气体供应商。
2023年,中船特气成功登陆上海证券交易所科创板,成为河北首家科创板上市企业。
目前,公司已成为国内电子特种气体行业内产品系列丰富、服务领域广泛、生产能力大、用户覆盖面和市场占有率高、持续创新能力强的企业。其中,三氟化氮、六氟化钨两种产品的生产能力分别位居世界前列;三氟化氮、六氟化钨、三氟甲磺酸、双三氟甲磺酰亚胺锂为国内生产能力最大。根据集成电路材料产业技术创新联盟调研数据,最近3年公司在电子特种气体的市场占有率稳居国内第一,其中在集成电路领域的市场占有率也位居国内第一。
公司在上海证券交易所挂牌上市
持续创新,攻克技术难题
创新为中船特气的高速发展插上了翅膀。20多年来,第七一八研究所研发的特种气体材料从一穷二白到走向世界瞩目,特气事业也走出了一条从无到有、从小到大、从弱到强的发展之路。
公司持续聚力电子特气领域的关键技术研究,近3年累计投入研发费用超过3亿元。公司针对“卡脖子”的进口原材料及设备、零部件等开展国产化替代工作,其中高纯三氟化氮用管束式集装箱的设备采购成本节约超亿元。
中船特气副董事长李绍波介绍说:“半导体产业是国家战略产业,芯片制造过程中涉及到的气体材料种类非常多,包括37种高纯特种气体、46种混合气体、7种大宗气体等,其中一些关键材料研发难度大、利润少、可替代性弱,但我们必须啃下这块‘硬骨头’!”
“为了增强科技创新的管理机制,提高科技创新的改进力度,公司加强产学合作,制定了与科研院所合作机制,建立了校企合作关系,并对优秀人才进行短、中、长期培养;与北京理工大学、南开大学、上海有机所等开展深度合作,开展各项攻关和技术创新、产品创新、管理创新;瞄准电子气体国际前沿,服务于国家重大需求,进而加快国产化替代速度。”李绍波说。
电子特种气体的研制难点在于高纯度。据了解,在大规模集成电路、液晶显示器、光电半导体器件、太阳能薄膜电池等电子器件制程中,所用到的电子气体纯度高达99.999%~99.9999%。
经过多年的持续创新,公司掌握了多项拥有自主知识产权的核心技术,形成了一定的技术壁垒,部分产品品质已达到国际领先水平,是国内首个进入5纳米制程的电子特气供应商。
面对骄人成绩,中船特气团队没有停止脚步。公司研发投入持续增加,解决了多项电子特种气体材料“卡脖子”问题,实现特种气体“中国创造”,为企业发展注入砥砺前行的力量和长远发展的动能。
公司先后立项开展六氟化钨、高纯氘气、三氟甲磺酸系列产品等20多种高纯特种气体的研发工作。特别是在2013年,第七一八研究所作为国家02重大科技专项中电子气体的牵头研制单位,承担了19种电子特种气体的国产化研发任务。经过3年的持续努力,第七一八研究所完成了19种气体的研制及产业化初期工作,并开始市场试用和批量供货。
“通过建设研发平台,公司实现了三氟化氮、六氟化钨、氯化氢等气体的国产化替代,并小试验证二氟甲烷等21种电子气体生产的可行性。未来公司将继续丰富电子气体种类,增大国内产品替代力度,保障行业安全发展。”负责产品研发检测的中船特气公司副总经理李翔宇表示。
深耕特气,获多项行业殊荣
公司一直坚持以“服务国家战略,引领行业发展”为己任,深耕高纯电子特种气体领域20余年,持续聚力关键技术研究,部分含氟高纯电子气体的制备技术已达国际领先水平。经过多年努力,“派瑞”品牌为已发展成为中国特气产业的象征,并获得行业内多项荣誉。
中船特气获得“河北省科技进步一等奖”“河北省‘专精特新’示范企业”“河北省科技小巨人”“2021年度河北省科技领军企业”等荣誉,以及2次集成电路材料产业技术创新联盟“技术攻关奖”、2次中国工业气体工业协会“气体行业专利金奖”、4次“河北省科技进步二等奖”、2次“中船重工集团科学技术一等奖”等奖项,形成了深厚的研发底蕴,为公司的持续创新夯实基础。
公司高度重视科技成果转化,建设有河北省特种气体技术创新中心、河北省电子气体工程实验室,规划建设北湖创新中心,实现了三氟化氮、六氟化钨等多个产品的大规模产业化。公司还曾获得“国家制造业单项冠军”
“2019年中国半导体材料十强企业”“2020年中国半导体材料十强企业”“2021年邯郸市第六届市长质量奖”
“‘十三五’气体行业领军企业”“工业强基工程一条龙应用计划示范企业”“五星产品证书”等多项奖项。
公司积累了从合成、提纯、分析到充装的完整核心技术经验,截至2023年5月31日,公司拥有授权专利259件,其中发明专利118件,实用新型专利138件,国际专利3件;主导或参与制定了国家标准7项、团体标准15项,科技成果显著,科技影响力突出;获2021年度河北省企业标准“领跑者”荣誉称号,获“2021年度标准化先进单位”荣誉称号。
凭借优异的产品品质及服务能力,公司赢得了客户的充分信赖和高度认可。目前,公司已获得“集成电路十强企业”、中芯国际“优秀供应商”、联华电子“2021年杰出支持伙伴奖”、维信诺“优秀供应商”、上海华力“2020年度优秀供应商”等称号,成为中芯国际、长江存储、上海华虹、长鑫存储、京东方、TCL科技、天马微电子、维信诺等国内外头部企业的重要供应商。
筑牢安全底板,打造绿色工厂
中船特气的主要产品三氟化氮、六氟化钨、三氟甲磺酸等均属于危险化学品,他们做到了十几年安全生产事故、年度环保事故、年度质量投诉近乎为零,这是由于公司把“合规诚信、安全绿色,顾客满意、追求卓越”始终贯穿于安全清洁生产、高品质过程管理、绿色环保工厂等管理体系中。
中船特气坚持“四个一切”:使命责任重于一切、诚实守信重于一切、创新发展重于一切、安全环保质量重于一切。这是两代中船特气人在产业不断壮大发展中始终强调和关注的。
“生命重于泰山,没有什么比人民群众的生命安全和身体健康更重要。”中船特气总经理孟祥军强调,“安全生产管理在第七一八研究所是‘一把手’工程。发展决不能以牺牲安全为代价,要绷紧安全生产这根‘红线’,筑牢这块‘底板’。”
他们把安全生产放在发展首位,并把一个个分散独立的规定形成了安全管理体系。2022年起,公司对标世界一流,导入杜邦安全管理,进一步全面系统优化安全管理体系,确保公司安全管理绩效持续改善。目前,中船特气已经建立62项安全制度,实现从实验室试验到产品生产、从场地管理到人员管理、从原料加填到灌装发货的全覆盖。2022年,中船特气将安全培训常态化,全年开展安全生产培训190项,累计2700人次参加,无论是科研生产还是销售管理,都将“安全”二字刻入心中。
中船特气不断探索现代化安全管理。他们结合现代信息化手段,运用“安+智慧园区”系统,通过在危化品生产、储存场所加装电子围栏、变焦探查、移动跟踪、工作摄像、人员定位等技术,实现了可视化管理、现场实时监控和有毒有害物质的数据监控。同时公司在危化品生产等有害场所广泛使用密闭、屏蔽设备设施来隔绝有毒有害物质,在可能发生爆炸的容器和管道等部位上使用电磁阀、气动阀等进行远程控制,运用DCS自控系统控制危化品生产过程,使作业现场向无人化、智能化、信息化发展。
在环保方面,公司掌握了绿色技术实现了生产工艺研发过程中副产品及三废的循环利用,形成了多种保处理核心技术减少污染,实现一般固废、危废资源化利用。厂区均按照国家绿色建筑设计标准进行设计施工,优先采用绿色供应链产品、绿色清洁能源,开展余热、余压、液氮等梯级利用;污水经污水站、深度处理装置回收利用,零外排,温室气体排放量远低于同行业平均排放水平。公司自愿申报开展清洁生产审核,并于2021年获得“河北省绿色工厂荣誉”,2022年获得“国家级绿色工厂荣誉”。
在质量方面,他们坚持以客户需求为导向,努力为客户提供质量放心、专业用心的产品和服务,建立了严格的ISO9001、IATF16949质量体系和MSA、FMEA、SPC等管理系统,只为把一瓶瓶合格的气体送到客户手中。
任重道远,未来市场可期
中船特气深耕电子特气产业链,公司的核心产品为三氟化氮和六氟化钨,是电子特气中市场规模最大的两种气体。公司三氟化氮年产能9250吨,是国内最大、全球第二的三氟化氮企业;六氟化钨年产能2230吨,居全球首位。
据了解,电子特气市场进口替代空间广阔,由于下游需求崛起,电子特气供需转换实现快速发展。TECHCET数据显示,预计2025年全球电子特种气体市场容量将超过60亿美元,2021~2025年复合增长率预计达到7.33%,因此预计三氟化氮和六氟化钨两种气体需求将大于供给。这将为中船特气的快速发展提供更大成长空间。
2023年4月21日,公司在上海证券交易所成功挂牌上市。这是中国船舶集团做强做优做大国有资本和国有企业的重要成果。“公司将继续聚焦科技自立自强,推动关键核心技术攻关,不断加强技术创新和体制机制改革,努力创造更优业绩,助力邯郸打造“中国气谷”,实现创新发展、绿色发展、高质量发展。”李绍波强调。
经过多年积累,中船特气拥有国内最大三氟化氮、六氟化钨及三氟甲磺酸系列产品研发生产基地,特种气体产能年均增长30%,产品从单一气体拓展到系列电子气体,产品应用从单一领域拓展到多元领域,并将继续“造船出海”、扬帆远航。
发展历程
2000年
第七一八研究所成立特种气体工程部。
2002年
研制出纯度高达99.9%的电子级三氟化氮气体,打破国外技术垄断。
2007年
研发电子级六氟化钨气体。
2008年
建成国内首个300吨/年高纯三氟化氮生产线。
2010年
建成30吨/年高纯六氟化钨生产线和30吨/年三氟甲磺酸生产线。
2013年
承担国家重大科技专项中的“高纯电子气体研发与产业化”项目。
2015年
三氟化氮、六氟化钨、三氟甲磺酸系列产品年产能分别达到1500吨、230吨、100吨。
2016年
中船重工(邯郸)派瑞特种气体有限公司成立。
2017年
开始建设5400吨/年新材料项目。
2018年
一期3000吨/年三氟化氮生产线投产,成为国内行业龙头。
2019年
开始建设7300吨/年新材料项目;建成全球单条产能最大的4500吨/年三氟化氮生产线。
2021年
股份有限公司成立,三氟化氮产能达到9250吨/年、六氟化钨达2230吨/年。
2023年
公司(证券代码 688146)在上海证券交易所科创板公开发行A股上市。