来源 :中国电子专用设备工业协会2026-05-29
产品描述 近日， 华海清科股份有限公司（简称： 华海清科 ） 自主研发的首台8英寸晶圆留环减薄机Versatile-GR200顺利出机，发往国内集成电路制造企业。该机型通过留环技术为超薄晶圆提供支撑，避免碎裂，可满足80微米以下加工需求，主要应用于功率器件领域。此举打破国际厂商垄断，为新能源汽车、储能等产业提供高性能、高性价比的国产装备解决方案。
（来自： 华海清科 ）