来源 :中国电子专用设备工业协会2026-05-29
产品描述 近日, 华海清科股份有限公司(简称: 华海清科 ) 自主研发的首台8英寸晶圆留环减薄机Versatile-GR200顺利出机,发往国内集成电路制造企业。该机型通过留环技术为超薄晶圆提供支撑,避免碎裂,可满足80微米以下加工需求,主要应用于功率器件领域。此举打破国际厂商垄断,为新能源汽车、储能等产业提供高性能、高性价比的国产装备解决方案。
(来自: 华海清科 )