华海清科获得实用新型专利授权：“排风装置、排风系统及晶圆加工设备”

　　数据显示华海清科（688120）新获得一项实用新型专利授权，专利名为“排风装置、排风系统及晶圆加工设备”，专利申请号为CN202520676119.4，授权日为2026年4月14日。

　　专利摘要：本申请提供一种排风装置、排风系统和晶圆加工设备。排风装置的两端分别流体连接到晶圆加工设备的加工腔和晶圆加工设备外部的风道，排风装置包括：第一排风管，其侧壁处开设有连通孔；支路管，设置在第一排风管的连通孔处并经由连通孔与第一排风管流体连通，支路管配置成与风压检测器连接；第二排风管，其至少部分地嵌套在第一排风管中，第二排风管的侧壁至少覆盖连通孔，在连通孔处第二排风管的侧壁与第一排风管的侧壁之间具有缓冲间隙，以避免气流携带加工粉尘冲击到支路管中。根据本申请的技术方案，显著降低了支路管处的气流速度，有效阻止了涡流产生，避免了支路管和测压气管的粉尘淤积。

　　今年以来华海清科新获得专利授权20个，较去年同期增加了11.11%。结合公司2025年中报财务数据，2025上半年公司在研发方面投入了2.44亿元，同比增42.92%。